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半導(dǎo)體潔凈車間技術(shù)

2015年06月25日14:02 

半導(dǎo)體組件空間單位都是以微米計(jì)算,因此微塵顆粒沾附在制作半導(dǎo)體組件的晶圓上,便有可能影響到其上精密導(dǎo)線布局的樣式,造成短路或斷路的嚴(yán)重后果。所有半導(dǎo)體制程設(shè)備都必須安置在隔絕粉塵進(jìn)入的密閉空間中,這就是半導(dǎo)體潔凈車間的來(lái)由。

半導(dǎo)體潔凈車間

以下半導(dǎo)體潔凈車間的相關(guān)的技術(shù)和使用管理辦法:

1.半導(dǎo)體潔凈車間內(nèi)部要確保粉塵只出不進(jìn),因此潔凈車間室內(nèi)要保持大于大氣壓的環(huán)境。這就需要用大型鼓風(fēng)機(jī)將經(jīng)凈化設(shè)備的空氣源源不絕地打入潔凈車間中。

2.為保持恒溫與恒濕,大型空調(diào)設(shè)備須搭配前述之鼓風(fēng)加壓系統(tǒng)使用。鼓風(fēng)機(jī)加壓多久,空調(diào)就得開多久。

3.所有經(jīng)凈化設(shè)備的空氣流動(dòng)方向均由上往下為主,因此,潔凈車間室內(nèi)空間設(shè)計(jì)或機(jī)臺(tái)擺放應(yīng)避免突兀,使塵埃細(xì)菌等在潔凈車間內(nèi)回旋停滯的機(jī)會(huì)與時(shí)間減至最低程度。

4.所有建材均以不易產(chǎn)生靜電吸附的材質(zhì)為主。

5.所有人或事物進(jìn)出潔凈車間,人必須穿配套防塵服,人或事物都要經(jīng)過(guò)風(fēng)淋室吹淋以將表面粉塵先行除掉。

6.半導(dǎo)體潔凈車間內(nèi)水的使用只限用去離子水。一則防止水中粉粒污染晶圓,二則防止水中重金屬離子(如鉀、鈉離子)污染金氧半晶體管結(jié)構(gòu)之帶電載子信道,影響半導(dǎo)體組件的工作特性。去離子水是最佳的溶劑與清潔劑,在半導(dǎo)體工業(yè)之使用量極為驚人!

7.半導(dǎo)體潔凈車間所有用得到的氣源,包括吹干晶圓及機(jī)臺(tái)空壓所需要的,都得使用氮?dú)?(98%),吹干晶圓的氮?dú)馍踔烈?9.8%以上的高純氮。


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