電子潔凈廠房工程其主要特點:1、車間面積大;2、多變性;電子光學行業(yè)技術革新快,生產(chǎn)工藝變化,車間平面布局也隨之變化,因此在設計凈化車間時應注意平面上不宜有固定的分隔,特別是很小的分隔。
電子光學凈化車間設計需注意事項
(1)平面由工藝決定,電子凈化車間的工藝布局應適應電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性,滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)的需求;
(2)主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng),不宜采用內(nèi)墻承重體系;
(3)大型電子行業(yè)潔凈廠房常采用上技術夾層、下技術夾層這種“夾心”式多層構(gòu)造;
(4)應考慮大型生產(chǎn)工藝設備的安裝、維修要求,設置必要的運輸通道和不影響潔凈生產(chǎn)環(huán)境的安裝口或檢修口;
(5)電子凈化車間按二級耐火等級設計;
(6)特種氣體的儲存和分配間應有耐火隔墻與潔凈室(區(qū))分開,該墻耐火極限不低于1H。有毒的硅烷或其混合物氣瓶存區(qū)至少三面是敞開的,氣瓶與周圍構(gòu)筑物或圍欄之間的距離應大于3M,儲存區(qū)設置的雨篷應不低于3.5M;
(7)電子凈化車間的裝飾材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品有影響物質(zhì)的材料;
(8)電子光學潔凈室車間允許設空氣吹淋室,這是和一般生物潔凈室不同的。吹淋室應與潔凈工作服更衣室相鄰。單人吹淋室按最大班人數(shù)為30人一間設計,當工作人員超過5人時,應設旁門,當人數(shù)太多或為了縮短通過時間,也可設遂道式吹淋室;
(9)對于潔凈等級高的潔凈車間,為了盡可能不影響氣流的單向性、平行性,照明燈具采用凈化淚珠形燈具;
(10)電子潔凈室車間常要根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設置防靜電環(huán)境,以便抑制靜電的產(chǎn)生,將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全的排除;
(11)電子潔凈室車間有對防微振的特殊要求,在廠地環(huán)境上應避開振動源;
(12)電子凈化車間除有一般給排水要求外,對超大規(guī)格集成電路的用水也有標準;