術(shù)語：

在潔凈廠房設(shè)計規(guī)范中GB50073-2001中給潔凈室的三種狀態(tài)做了以下定義：

空態(tài) as-built潔凈室測試

設(shè)施已經(jīng)建成，所有動力接通并運行，但無生產(chǎn)設(shè)備、材料及人員。

靜態(tài) at-rest

設(shè)施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝，并按業(yè)主及工藝商同意的狀態(tài)下運行，但無生產(chǎn)人員。

動態(tài) operational

設(shè)施已規(guī)定的狀態(tài)運行，有規(guī)定的人員在場，并在商定的狀態(tài)下進行工作。

在ISO14644中規(guī)定將潔凈室檢測階段劃分如下：

空態(tài)潔凈室的檢測——Installation qualificafion(IQ)

靜態(tài)潔凈室的檢測——Operational qualificafion(OQ)

動態(tài)潔凈室的檢測——Performance qualificafion(PQ)

空態(tài)潔凈室的檢測(IQ)

檢查空態(tài)潔凈室和安裝的設(shè)備是否符合設(shè)計，至少要檢查下列各點：

1、潔凈室設(shè)備的成套性；

2、一切能源載體和工藝介質(zhì)的供應(yīng)（水、電、蒸汽、壓縮空氣、氣體等）是否符合設(shè)計；

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