ISO 14644的本部分指定ISO分級的各級別,以此作為潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境內(nèi)空氣潔凈度的技術(shù)要求.本部分不僅確定了空氣中懸浮粒子測試的程序,而且確定了測試的標(biāo)準(zhǔn)方法.
為劃分等級,ISO 14644的本部分僅限于確定粒子濃度限值用的指定的粒徑范圍.本部分還提供了標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議,以依據(jù)大于或小于指定分級用粒徑范圍的懸浮粒子濃度等級標(biāo)識.
ISO 14644的本部分為無塵車間和污染控制系列標(biāo)準(zhǔn)中的一個標(biāo)準(zhǔn).除懸浮粒子潔凈度之外,還有許多因素必須在潔凈室及其受控環(huán)境的設(shè)計、技術(shù)要求、運行和控制中予以考慮.
ISO 14644-1潔凈室和潔凈區(qū)按空氣中懸浮粒子濃度的分級(國際標(biāo)準(zhǔn))
潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境保證空氣中懸浮粒子被控制在合適的級別,以確保完成對污染敏感的有關(guān)活動.以下行業(yè)的產(chǎn)品和工藝均得益于空氣中懸浮污染物的控制:航天、微電子、醫(yī)藥、醫(yī)療器械、食品和保健品.