光學(xué)微電子凈化車間亦名光學(xué)微電子無塵室或光學(xué)微電子潔凈室,目前已是半導(dǎo)體、精密電子元件、液晶制造、光學(xué)儀器制造、線路板制造和手機(jī)、計算機(jī)等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來,由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展,對于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目,而我公司的設(shè)計理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于領(lǐng)先地位。
光微電子凈化工程解決方案:
凈化工程的設(shè)計過程中,應(yīng)加強(qiáng)對光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程,并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據(jù)該工程的具體情況,同時還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟(jì)承受能力,綜合各種因素來確定采用何種凈化方案,這樣才可設(shè)計出一個能滿足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價合理、經(jīng)濟(jì)節(jié)能實(shí)用的方案。
光學(xué)微電子凈化工程一般包括:
1、 潔凈生產(chǎn)區(qū)
2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)風(fēng)淋室
3、 管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)
4、 設(shè)備區(qū)(包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房)
光學(xué)微電子凈化工程凈化原理:
氣流→初效空氣過濾器凈化→空調(diào)→中效空氣過濾器凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效空氣過濾器凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效空氣過濾器凈化 重復(fù)以上過程,即可達(dá)到凈化目的。
光學(xué)微電子凈化工程凈化參數(shù)
換氣次數(shù):100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa
平均風(fēng)速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季<26℃;波動±2℃。
溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX。
深圳市美克威爾環(huán)境科技有限公司(jnhaizhisheng.cn)是一家提供專業(yè)的潔凈技術(shù)整體解決方案的高科技公司,美克威爾擁有一支包括開發(fā)部、設(shè)計部、工程部、生產(chǎn)部、售后服務(wù)部在內(nèi)的隊(duì)伍,為您的車間環(huán)境提供強(qiáng)有力的支持。
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