- [行業(yè)動(dòng)態(tài)]半導(dǎo)體潔凈車(chē)間技術(shù)[ 2015-06-25 14:02 ]
- 半導(dǎo)體組件空間單位都是以微米計(jì)算,因此微塵顆粒沾附在制作半導(dǎo)體組件的晶圓上,便有可能影響到其上精密導(dǎo)線布局的樣式,造成短路或斷路的嚴(yán)重后果。所有半導(dǎo)體制程設(shè)備都必須安置在隔絕粉塵進(jìn)入的密閉空間中,這就是半導(dǎo)體潔凈車(chē)間的來(lái)由。
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http://jnhaizhisheng.cn/Article/bdtjjcjjs.html
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