無塵車間等級(jí)劃分
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新接觸無塵車間的朋友可能對應(yīng)無塵車間的等級(jí)不清楚,這里美克威爾就為新接觸無塵車間的朋友介紹下無塵車間等級(jí)的劃分,希望對各位朋友有所幫助!
無塵車間即凈化車間,凈化車間,亦稱為無塵室或潔凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在 FED-STD-2里面,潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。
所謂的無塵車間是一個(gè)人造的環(huán)境,里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境,隨著集成電路技術(shù)的快速成長,也增加了對制造環(huán)境(無塵車間)潔靜度的需求,在工業(yè)上即使粒子之尺寸小于1微米,也可能阻礙產(chǎn)品的運(yùn)作或降低其壽命。 由于奈米技術(shù)的興起,造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小,集成電路積集度不斷的增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒地落到金屬導(dǎo)線時(shí),就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上,可能將其腐蝕,所以無塵車間為集成電路制造不可或缺的要素。建設(shè)無塵車間
無塵車間等級(jí)劃分:
依據(jù)美國政府頒布的標(biāo)準(zhǔn),可將無塵車間分為六級(jí)。分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí):
1級(jí):這個(gè)級(jí)別的無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工業(yè),對集成電路的精確要求為亞微米。
10級(jí):這個(gè)級(jí)別的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。
100級(jí):很多人認(rèn)為,這一級(jí)無塵車間是最常用因而是最重要的無塵車間,人們常常錯(cuò)誤地將100級(jí)潔凈室稱為無菌室,以說明“無菌”的或“無塵”的環(huán)境要求,100級(jí)無塵室可用于醫(yī)藥工業(yè)的無菌制造工藝等,這一潔凈室大量應(yīng)用于,植如體內(nèi)物品的制造,外科手術(shù),包括移植手術(shù),集成器的制造,那些對細(xì)菌感染特別敏感的病人的隔離治療,比如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離治療。
1000級(jí):這個(gè)級(jí)別的無塵車間主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn),還用于測試,裝配飛機(jī)蛇螺儀,裝配高質(zhì)微型軸承等。
10000級(jí):萬級(jí)無塵車間用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業(yè),此外,萬級(jí)無塵車間在醫(yī)工業(yè)中也很常用。
100000級(jí):十萬級(jí)無塵車間用于很多的工業(yè)部門,比如光學(xué)產(chǎn)品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng),液壓或氣壓系統(tǒng)的制造,食品飲料的生產(chǎn),醫(yī)、藥工業(yè)也常常使用這一級(jí)無塵車間。了解更多無塵車間等級(jí)情況
等 級(jí) | 每立方米(升)空氣中》0.5μm塵粒數(shù) | 每立方米(升)空氣中》5μm塵粒數(shù) |
100 | 《35*100(〈3.5〉 | |
1000 | 《35*1000(〈35〉 | 《250(〈0.25〉 |
10000 | 《35*10000(〈350〉 | 《2500(〈2.5〉 |
100000 | 《35*100000(〈3500〉 | 《25000(〈25〉 |
解釋:目前各半導(dǎo)體加工和面板組裝廠的無塵室等級(jí)大都為1000級(jí)和100級(jí)的居多,級(jí)數(shù)越低潔凈度就越高,質(zhì)量越好。如果無塵車間的等級(jí)只用塵粒數(shù)目來敘述,則可假設(shè)塵粒的尺寸為0.5µm,例如,1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)東莞無塵車間最大塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆,如果塵粒尺寸不是0.5µm,無塵車間等級(jí)應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級(jí)數(shù)來表示。例如:10級(jí)在0.2µm(塵粒尺寸在0.2µm或更大下,密度不大于75顆/立方英?),1級(jí)在0.1µm(塵粒尺寸在0.1µm或更大下,密度不大于35顆/立方英?)。而集成電路制造所需的無塵車間之潔凈度必須優(yōu)于1000級(jí)。
無塵車間的使用要求:
保持無塵車間的潔凈度,進(jìn)出的人員有一定的穿著規(guī)定;10000與100000級(jí),必須穿著長袍無塵衣、無塵鞋、帶帽子與面罩;1000級(jí)(含)以上,需穿著特殊的潔凈連身衣、無塵鞋將全身裹住,并帶上手套和面罩。
深圳市美克威爾環(huán)境科技有限公司(jnhaizhisheng.cn)是一家專業(yè)提供專業(yè)的潔凈技術(shù)整體解決方案的高科技公司,致力于新一代智能化、節(jié)能化、綠色潔凈室的研發(fā)、生產(chǎn)、施工、銷售的專業(yè)公司。
業(yè)務(wù)遍及精密儀表、航空航天、食品工業(yè)、化妝品、微電子、光磁技術(shù)、生物工程、集成電路、醫(yī)藥衛(wèi)生、電子器械、工業(yè)、科研教學(xué)等高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域中,設(shè)計(jì)承建各種不同類型的工業(yè)潔凈室與衛(wèi)生潔凈室。
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美克威爾凈化工程優(yōu)勢
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二十年施工經(jīng)驗(yàn),專業(yè)的工程師團(tuán)隊(duì)全程施工監(jiān)管
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2、先進(jìn)的施工技術(shù)和一流設(shè)計(jì)方案打造高標(biāo)準(zhǔn)、個(gè)性化
可承接各類潔凈度、濕度、溫度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)的凈化工程(如:動(dòng)態(tài)千級(jí)潔凈車間、百級(jí)手術(shù)室ICU、A級(jí)無菌車間)
擁有行業(yè)資格證書的工程師團(tuán)隊(duì),設(shè)計(jì)方案專業(yè)化、個(gè)性化
所建造項(xiàng)目最高達(dá)到CLASS一級(jí)為國際先進(jìn)水平
所建造項(xiàng)目涉及通過GMW認(rèn)證、美國NEBB、FDA認(rèn)證歐盟Euro GMP認(rèn)證
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