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常用凈化車(chē)間潔凈度等級(jí)一覽表

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人氣：-發(fā)表時(shí)間：2015-11-19 10:40【大中小】

?凈化車(chē)間的級(jí)別一般分成M3.5（100）、M4.5（1000）、M5.5（10000）、M6.5（100000）4個(gè)級(jí)別。但根據(jù)各產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的作業(yè)工序不同，形成必要的級(jí)別是不一樣的。例如，在半導(dǎo)體制造工廠(chǎng)等里邊，根據(jù)作業(yè)內(nèi)容，要求有M1（10）—M5.5（1000）的凈化間。而且，在制藥工廠(chǎng)里，根據(jù)產(chǎn)品的純度、作業(yè)工序，需有從M3.5到M6.5（100，000）范圍廣泛的級(jí)別不等凈化間。因此說(shuō)，各種產(chǎn)業(yè)所需要的凈化間，其要求的潔凈度是不同的。

就一般級(jí)別而言，表11可以作為參考。

表11，各產(chǎn)業(yè)所要求的凈化車(chē)間級(jí)別一覽

領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè)		潔凈度標(biāo)準(zhǔn)（級(jí)別）		內(nèi)容
領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè)		SI	English unit	內(nèi)容
半導(dǎo)體工業(yè)（IC、LSI等）	掩模板對(duì)準(zhǔn)工藝	M3.5	100
	刻蝕工藝	M3.5	100	腐蝕加工
	擴(kuò)散工藝	M3.5	100	高純度擴(kuò)散
	蒸著工藝	M3.5	100	高純度電鍍
	涂布工藝	M3.5	100	感光劑涂布
電子設(shè)備	計(jì)算器制造	M5.5	10,000	磁頭
	陰極射線(xiàn)管	M5.5	10,000,	遮屏
	磁帶	M5.5	10,000	防止雜音
精密儀器	陀螺、微型軸承	M5.5	10,000	提高精度
	導(dǎo)彈部件、繼電器	M5.5	10,000	防止誤動(dòng)作
	鐘表、小型計(jì)量?jī)x器	M5.5	10,000	組立、封裝、修理
光學(xué)、印刷	照相機(jī)、印刷電路板	M5.5	10,000	制作
	鏡頭、膠片	M4.5	1,000	連接
	電子制版	M5.5	10,000	制作、檢查
化學(xué)藥品	注射液充填	M3.5	100	調(diào)和、充填
化學(xué)藥品	無(wú)菌動(dòng)物養(yǎng)育	M3.5	100	SPF
化學(xué)藥品	抗生物	M5.5	10,000	充填、檢查
化學(xué)藥品	一般醫(yī)療品	M6.5	100,000	制造
食品	釀造、發(fā)酵	M5.5	10,000	防止醬油、大醬腐壞
	乳制品、生食品	M6.5	100,000	防止酸乳酪變質(zhì)
	食肉加工	M5.5	10,000	火腿、香腸
	攪拌(弄成糊狀)食品	M5.5	10,000	攪拌后備烤的圓筒形、半圓形魚(yú)肉、魚(yú)肉山芋丸子等食品制冷時(shí)防止細(xì)菌粘附上。
醫(yī)療	手術(shù)室	M3.5	100	股關(guān)節(jié)手術(shù)、臟器移植
	特殊治療室	M3.5	100	白血病、燙傷
	恢復(fù)、新生兒室	M3.5	10,000	早產(chǎn)兒、術(shù)后防止感染
	臨床檢查	M5.5	10,000	菌類(lèi)培植、檢查
農(nóng)林畜產(chǎn)	蘑菇栽培	M5.5	10,000	防止蘑菇種菌被雜菌感染
	植物	M6.5	100,000	蘭花栽培（試驗(yàn)用無(wú)菌植物、強(qiáng)勢(shì)培植植物）
	養(yǎng)殖	M5.5	10,000	防止魚(yú)、蠶類(lèi)因菌侵襲致死
微生物工程	一般病原體	M3.5	100	馬爾堡病毒、拉薩氏熱、艾伯拉出血熱（排出空氣）
微生物工程	基因轉(zhuǎn)換	M3.5	100	大腸菌（排出空氣）